MEMS突出的優(yōu)點(diǎn)是利用微電子技術(shù)把傳感器、執(zhí)行器和處理電路這三部分集成在一起，組成單片集成傳感器或系統(tǒng)，更可以實(shí)現(xiàn)傳感器芯片的大規(guī)模批量制造，已廣泛用于信息、汽車(chē)、消費(fèi)、工控等領(lǐng)域，并成為國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)的戰(zhàn)略制高點(diǎn)。那么功率放大器如何為MEMS傳感器測(cè)試提供激勵(lì)信號(hào)呢？今天Aigtek安泰電子就為大家答疑解惑~

　　深究傳感器和MEMS的發(fā)展過(guò)程，二十世紀(jì)六十年代剛出現(xiàn)微加工器件，七十年代主要研究新的技術(shù)和擴(kuò)展應(yīng)用方面，八十年代系列生產(chǎn)更為復(fù)雜的器件，九十年代是集成敏感系統(tǒng)的發(fā)展，2000年以后無(wú)線微系統(tǒng)開(kāi)始發(fā)展。

　　什么是MEMS傳感器？

　　傳感器是當(dāng)今數(shù)字世界的重要組成部分之一。由于所有的計(jì)算和處理都是在數(shù)字信號(hào)上完成的，因此在模擬世界和數(shù)字電子設(shè)備之間應(yīng)該有一個(gè)媒介。傳感器彌合了這一差距，因?yàn)樗鼈冇糜谟^察模擬物理參數(shù)的時(shí)間效應(yīng)并產(chǎn)生有意義的信息（對(duì)計(jì)算機(jī)）。

　　傳感器的現(xiàn)代定義有時(shí)令人困惑，但簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，傳感器是一種包含基本傳感元件的設(shè)備，這些元件感測(cè)溫度或濕度等物理量并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。傳感器還由信號(hào)處理單元（如放大器、濾波器或ADC）或這些元件的組合組成。

　　不同類(lèi)型的MEMS傳感器

　　MEMS技術(shù)的主要實(shí)施者之一是汽車(chē)行業(yè)?，F(xiàn)代汽車(chē)使用大量傳感器，其中大多數(shù)是基于MEMS的設(shè)備。以下是現(xiàn)代汽車(chē)中使用的MEMS傳感器列表。

　　l加速度計(jì)–用于電子穩(wěn)定控制和安全氣囊展開(kāi)。

　　l慣性測(cè)量單元或IMU（它們是MEMS加速度計(jì)和MEMS陀螺儀的組合）-用于測(cè)量自動(dòng)駕駛的偏航，俯仰和滾動(dòng)。

　　l磁力計(jì)–用于導(dǎo)航中使用的方向。

　　l壓力和慣性傳感器–用于制動(dòng)控制。

　　l壓力傳感器–胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。

　　l氣流傳感器–進(jìn)氣監(jiān)測(cè)。

　　l燃油傳感器–燃油液位指示器。

　　l碰撞和碰撞傳感器–碰撞檢測(cè)和安全氣囊展開(kāi)。

　　lMEMS麥克風(fēng)–用于通信和降噪。

　　l溫度傳感器–用于自動(dòng)氣候控制和發(fā)動(dòng)機(jī)溫度監(jiān)控。

　　l還有許多其他基于MEMS的器件適用于各種應(yīng)用。

　　前置微小信號(hào)放大器如何為MEMS傳感器測(cè)試提供激勵(lì)信號(hào)？

　　確定MEMS傳感器的輸入規(guī)格：包括頻率、功率、阻抗等參數(shù)。

　　選擇合適的功率放大器類(lèi)型：根據(jù)MEMS傳感器的需求，選擇適當(dāng)?shù)墓β史糯笃黝?lèi)型，在MEMS傳感器測(cè)試過(guò)程中我們常會(huì)用到ATA-5620前置微小信號(hào)放大器，來(lái)進(jìn)行信號(hào)的放大。

　　ATA-5620前置微小信號(hào)放大器

　　帶寬：（-3dB）1kHz~100MHz

　　電壓：2Vp-p（50Ω）

　　電壓增益：60dB

　　連接前置微小信號(hào)放大器和MEMS傳感器：將功率放大器的輸出端與MEMS傳感器的輸入端正確連接。

　　調(diào)整功率放大器的參數(shù)：根據(jù)MEMS傳感器的需求，調(diào)整功率放大器的增益、輸出功率、輸出阻抗等參數(shù)，以確保提供適當(dāng)?shù)募?lì)信號(hào)。

　　進(jìn)行測(cè)試：使用適當(dāng)?shù)臏y(cè)試儀器和軟件，對(duì)MEMS傳感器進(jìn)行測(cè)試，觀察其響應(yīng)和性能。